变形小，稳定性好
适用于光刻及量测设备

Si/SiC/Al2O3/石英等多种材质

Al2O3/Y2O3材质
降低腐蚀性气体带来的金属污染

良好的热导率
优异的耐等离子性能

L1 Repair 表面修复
　表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
　金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
　陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
　Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
L0 New Product
　全新品制造

优异的热导率
适用于高温环境

L1 Repair 表面修复
　表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
　金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
　陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
　Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
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　全新品制造

具有成本优势

L1 Repair 表面修复
　表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
　金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
　陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
　Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
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